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750179 產(chǎn)品規(guī)格書
750179 產(chǎn)品規(guī)格書
產(chǎn)品信息
OptoFlat 高精度低相位干涉儀

產(chǎn)品編號:750179
OptoFlat高精度低相位干涉儀
OptoFlat是行業(yè)內(nèi)獨有的低成本、高穩(wěn)定性、高剛性以及結(jié)構(gòu)緊湊的平面專用低相干干涉儀。其采用低相干性長壽命的633nm的LED光源,波長帶寬1nm。在測量透明材質(zhì)的雙面平行光學(xué)原件的單個表面面型時不會受到其他表面的干涉條紋影響,所以O(shè)ptoFlat可以排除來自多個表面的干擾,直接測得目標(biāo)表面的面型精度。對于測量實心玻璃棱鏡的前表面面型時也可以抑制其他反射面的影響的。

產(chǎn)品應(yīng)用
  • 測量拋光光學(xué)表面的面型和透射波前
產(chǎn)品特點
  • 自動光強調(diào)節(jié)與FlexFlatTM傳輸平臺相結(jié)合,減少了操作人員在測量時的干預(yù)
  • 無需反復(fù)測量,無需掃描測試位置
  • 與其他基于激光的Fizeau干涉儀不同,OptoFlat集成了長壽命的LED光源
  • 內(nèi)置專有的PurePhaseTM方法提升了在不穩(wěn)定的振動環(huán)境中的干涉相位測量
  • 校準(zhǔn)過的低畸變1X和4X光學(xué)放大倍率的比例尺準(zhǔn)確的測試面積尺寸,可自動標(biāo)記或用戶定義有效通光孔徑,便于判定測試合格/不合格
  • 簡單易用的測試軟件界面便于光學(xué)原件的批量測試,使任何人只要稍加培訓(xùn)就可以輕松測試多樣的光學(xué)原件,專業(yè)的樣品承載臺可快速批量測試每個零件。非接觸式傳感器開始測量并能快速分析判斷產(chǎn)品合格/不合格
  • 設(shè)計簡潔,占地小,沒有雜亂的電纜,只有交流電源和USB電纜到電腦
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品編號 750179
產(chǎn)品型號 OptoFlat
放大倍率 1×放大倍率 4×放大倍率
有效測量區(qū)域 Φ101.6mm Φ25.4mm
相機分辨率 1200×1200pixels 1920×1200pixels
相機頻率 40Hz 40Hz
空間采樣 88μm/pixel 22μm/pixel
畸變 0.08% 0.05%
景深 +/-12.6mm +/-2.2mm
RMS測量精度 0.1nm
RMS重復(fù)性 0.03nm
波長 633nm,1nm FWHM
相干深度 300μm
工作距離 90mm
傾斜調(diào)整范圍 +/-2°
平移調(diào)整范圍 +/-8mm
樣品承載臺 175×175mm
軸向移動范圍 65mm連續(xù)移動,100mm拆掉墊圈
最大被測樣品 100mm厚,5kg重
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