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750119 產品規格書
750119 產品規格書
產品信息
WaveMaster? PRO 2 Wafer 量產型波前測量儀

產品編號:750119
WaveMaster?PRO 2 量產型波前測量儀
WaveMaster? PRO系列產品是為了適應波前質量的大批量檢測的需求而研發的兩款儀器,可自行設置合格標準,并根據該標準自動判定合格和不合格。WaveMaster? PRO 2和WaveMaster? PRO 2 reflex配備托盤系統,實現對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster? PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進行快速檢測。

應用范圍:

  • 生產線上的大批量鏡頭波前和表面面形的檢測
  • 晶圓級鏡頭的波前檢測
規格參數
產品編號 750119
產品型號 WaveMaster? PRO 2 Wafer
應用范圍 批量測量晶圓級鏡片的波前質量
測量模式 透射式
空間分辨率 138×138
測量精度 <λ/20 (RMS)
測量重復性 <λ/200 (RMS)
動態范圍 2000λ
測量頻率 12Hz
測量時間  < 3秒/顆 
樣品口徑 0.5mm…14mm 
樣品焦距 -12mm…50mm 
光學波長 532nm
樣品夾持器 托盤式,自動定位
晶體托盤(4”/6”/8”)
自動判定晶圓方向
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